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刻蝕機(jī)冷卻水降溫設(shè)備 凍水機(jī)組
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| 發(fā)布時(shí)間：
2024/10/11 14:52:00 |
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電 話： |
86-0755-29084657 |
| 傳 真： |
86-0755-29084632 |
| 手 機(jī)： |
15889567386 |
| 郵 編： |
518105 |
| 地 址： |
深圳市龍崗區(qū)坪地街道年豐社區(qū)橫嶺中路1號(hào)第七棟 |
| 網(wǎng) 址： |
http://ninewells.cn.vooec.com |
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| 公司名稱：深圳市九井制冷設(shè)備有限公司 |
| 聯(lián) 系 人：李大紅 先生 銷售部經(jīng)理 |
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刻蝕機(jī)冷卻水降溫設(shè)備 凍水機(jī)組 詳細(xì)說(shuō)明 |
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刻蝕機(jī)冷卻水降溫凍水機(jī)組
本機(jī)組為半導(dǎo)體行業(yè)刻蝕機(jī)循環(huán)水裝置冷卻水恒溫機(jī)型，助力于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，能為國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體芯片制造業(yè)獻(xiàn)出我們現(xiàn)有的技術(shù)和服務(wù)，我們感到無(wú)上榮光。
產(chǎn)品特點(diǎn)
非標(biāo)可制定：恒溫—恒流—恒壓
標(biāo)準(zhǔn)型：智能控制水溫5～30℃±1，
非標(biāo)定制型：控制水溫 -50～85℃±0.3；控制水流1～1000L±0.03L；控制壓力0.1～10±0.04Mpa
控制器：PCL、觸摸屏，可連接上位機(jī)，遠(yuǎn)程控制及手機(jī)APP控制。
機(jī)組俱備八大保護(hù)功能：電源相序保護(hù)裝置、漏電保護(hù)裝置、壓縮機(jī)過(guò)載保護(hù)裝置、電圈過(guò)熱保護(hù)裝置、高低壓保護(hù)裝置、缺水保護(hù)裝置、冷凍水流保護(hù)裝置、防凍保護(hù)裝置。
制冷原理：
壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，使低溫低壓的氣態(tài)制冷轉(zhuǎn)為高溫高壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入冷凝器，冷凝內(nèi)的制冷部份熱量被外置冷卻水或散熱風(fēng)扇排出冷凝器，制冷劑放熱后液化為高溫高壓液態(tài)流出，經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾器干燥過(guò)濾后，流入膨脹閥進(jìn)行節(jié)流（迅速降溫的過(guò)程）、降壓，制冷劑液化為低溫低壓的液態(tài)進(jìn)入蒸發(fā)器進(jìn)行熱交換，低溫低壓的液態(tài)冷媒吸收蒸發(fā)器外周圍介質(zhì)（水、油）熱量，吸熱過(guò)程中冷媒溫度保持不變，體積發(fā)生變化，吸熱后的低溫壓的液壓制冷劑氣化為低溫低壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入到壓縮機(jī)，經(jīng)壓縮機(jī)壓縮，被壓縮成高溫高壓的氣態(tài)，進(jìn)入冷凝器，從而實(shí)現(xiàn)制冷循環(huán)的整個(gè)過(guò)程。
制熱原理
在制冷原理的基礎(chǔ)上，壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，使低溫低壓的氣態(tài)制冷轉(zhuǎn)為高溫高壓的氣態(tài)通過(guò)四通閥、儲(chǔ)液罐，制冷劑進(jìn)入冷凝器，冷凝內(nèi)的熱量被利用經(jīng)水水箱加熱，加熱的水可高達(dá)90度，制冷劑放熱后液化為高溫高壓液態(tài)流出，經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾器干燥過(guò)濾后，流入膨脹閥進(jìn)行節(jié)流（迅速降溫的過(guò)程）、降壓，制冷劑液化為低溫低壓的液態(tài)進(jìn)入蒸發(fā)器進(jìn)行熱交換，低溫低壓的液態(tài)冷媒吸收蒸發(fā)器外周圍介質(zhì)（水、油）熱量，吸熱過(guò)程中冷媒溫度保持不變，體積發(fā)生變化，吸熱后的低溫壓的液壓制冷劑氣化為低溫低壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入到壓縮機(jī)，經(jīng)壓縮機(jī)壓縮，被壓縮成高溫高壓的氣態(tài)，進(jìn)入冷凝器，從而實(shí)現(xiàn)制熱循環(huán)的整個(gè)過(guò)程。
機(jī)組性能
刻蝕機(jī)冷卻水降溫凍水機(jī)組采用多個(gè)壓縮機(jī)并聯(lián)設(shè)計(jì)，每組制冷系統(tǒng)自帶一個(gè)的制冷劑回路；制冷系統(tǒng)由PLC控制，逐個(gè)開(kāi)、關(guān)機(jī)，單機(jī)故障率極低，確保制冷系統(tǒng)有著穩(wěn)定的性能，長(zhǎng)年運(yùn)行情況下之選。
冷卻裝置控溫原理
1．刻蝕機(jī)冷卻水降溫凍水機(jī)組的冷凍水進(jìn)入水端流經(jīng)第一分水管件后分為第一水路和第二水路，使冷卻管內(nèi)達(dá)到充足的水流量，改善遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器的冷卻效果，減少在內(nèi)表面上生成的氣態(tài)物質(zhì)，有效降低凝結(jié)在晶圓表面的異常顆粒數(shù)量。
2．冷卻裝置的冷卻盤和冷卻板圍成一個(gè)冷卻腔,進(jìn)液口和排液口設(shè)置在冷卻腔的底壁，其中，在冷卻腔內(nèi)設(shè)計(jì)阻礙水流的方式，阻礙冷卻水直接從進(jìn)水口流向排水口,使冷卻液進(jìn)入儲(chǔ)水槽及其周圍區(qū)域流動(dòng)，讓冷卻液盡量流經(jīng)冷卻腔的整個(gè)區(qū)域,而不是直接從進(jìn)液口流向排液口，可讓流入的冷卻液均勻地與冷卻板接觸，進(jìn)行熱交換，冷卻裝置可均勻地推動(dòng)冷卻液流動(dòng)，使冷卻板得到充足的冷量。
3．冷卻結(jié)構(gòu)的離子束刻蝕機(jī)工作臺(tái)，固定在離子束刻蝕機(jī)的真空腔內(nèi)，傳動(dòng)座和基片臺(tái)，在基片臺(tái)與傳動(dòng)座之間形成與通水軸串聯(lián)連通的冷卻水循環(huán)裝置，通水軸分別連通進(jìn)水管路和出水管路而與冷卻水道一起形成冷卻水回路，再與刻蝕機(jī)冷卻水降溫凍水機(jī)組的進(jìn)水管及出水管連接形成一個(gè)水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，使溫度控制在實(shí)用工況的溫度值，確保有效基片臺(tái)的冷卻效果，提高了離子束刻蝕的均勻性。
產(chǎn)品質(zhì)量
凡是購(gòu)買我公司設(shè)備的，在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備的其中一個(gè)零部件為二手偽劣產(chǎn)品的，我公司以假一賠十的方式對(duì)用戶進(jìn)行賠償。在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備是以小充大或以次充好，用戶無(wú)條件退、換貨，所有費(fèi)用我司承擔(dān)。
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://zgyywsbw.com/cpshow_224468594/
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產(chǎn)品名稱：刻蝕機(jī)冷卻水降溫設(shè)備 凍水機(jī)組 |
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